Red Star Vietnam Co., Ltd.
Icons giỏ hàng Cart 0
Total : đ

Hệ thống đặc tính hóa hấp thụ dòng điện bằng chùm tia điện tử Hitachi (EBAC) nanoEBAC NE4000

State: Out of stock
Hitachi NE4000 nano EBAC là một hệ thống đo dùng chùm tia điện tử để đặc tính hóa tính chất về điện học và EBAC phân tích và thu ảnh của thiết bị vi điện tử như liên kết, vật liệu và linh kiện.
Warranty: 12 tháng


Price: Contact us




Order
  • Delivery time: 8h00 - 18h00 daily
  • Genuine product, provided width CO, CQ
  • 03 months of free warranty for consumable and accessories
  • 12 months of free warranty for main equipment
  • Accessorie's price is applied only when purchased with
    main equipment
  • Contact us for any particular accessory's quotion
Email: info@redstarvietnam.com Every day in week

Hitachi Electron Beam Absorbed Current(EBAC) Characterization System nanoEBAC NE4000

 

 

Probe unit

Unit number

4

Driving method

Piezoelectric

Fine stroke range

5 µm (X,Y)

Coarse stroke range

6 mm (X,Y)

Specimen stage / Base stage

Specimen size

25 mm × 25 mm × 1 mm thick or less

Traverse position

Measurement / Specimen exchange position

Specimen exchange

Air-locked exchange chamber

Prober navigation

Stage traverse to probe position

Measurement position memory

Probe coarse adjustment

CCD image display

Image display from lateral direction

Electron optics

Electron gun

Cold field emission electron source

Accelerating voltage

0.5 kV to 30 kV

Resolution

15 nm (at 2 kV, WD=15 mm)

Image shift

±150 µm (at 2 kV, WD=15 mm)

EBAC amplifier / Image display

Amplifier type

Current amplifier / Differential amplifier

Image display

SEM / EBAC (Single / Parallel / Overlay)

Image processing

Black and white reversal display, color display, brightness adjustment, slow scan integration, belt scan

 

 

Dimensions and Weight

 

 

Main unit

1,100 (W) × 1,550 (D) × 1,750 (H) mm, 850 kg

Display unit

1,000 (W) × 1,005 (D) × 1,200 (H) mm, 
265 kg

 

 

Utility requirement

 

 

Room temperature

15 - 25 °C

Humidity

60% RH or less

Power

AC100 V±10% 5 kVA (M5 crimp terminal)

Grounding

100Ω or less

  • Đánh giá sản phẩm:

(Xem mã khác)