Hệ thống đặc tính hóa hấp thụ dòng điện bằng chùm tia điện tử Hitachi (EBAC) nanoEBAC NE4000

State: Out of stock

Hitachi NE4000 nano EBAC là một hệ thống đo dùng chùm tia điện tử để đặc tính hóa tính chất về điện học và EBAC phân tích và thu ảnh của thiết bị vi điện tử như liên kết, vật liệu và linh kiện.

Warranty: 12 tháng

Price: Contact us

Order

Delivery time: 8h00 - 18h00 daily
Genuine product, provided width CO, CQ
03 months of free warranty for consumable and accessories
12 months of free warranty for main equipment
Accessorie's price is applied only when purchased with
main equipment
Contact us for any particular accessory's quotion

Email: info@redstarvietnam.com Every day in week

Features
Specifications
Photos
Videos
Downloads
Accessories
Comments

Hitachi Electron Beam Absorbed Current(EBAC) Characterization System nanoEBAC NE4000

Probe unit
Unit number	4
Driving method	Piezoelectric
Fine stroke range	5 µm (X,Y)
Coarse stroke range	6 mm (X,Y)
Specimen stage / Base stage
Specimen size	25 mm × 25 mm × 1 mm thick or less
Traverse position	Measurement / Specimen exchange position
Specimen exchange	Air-locked exchange chamber
Prober navigation	Stage traverse to probe position
Prober navigation	Measurement position memory
Probe coarse adjustment
CCD image display	Image display from lateral direction
Electron optics
Electron gun	Cold field emission electron source
Accelerating voltage	0.5 kV to 30 kV
Resolution	15 nm (at 2 kV, WD=15 mm)
Image shift	±150 µm (at 2 kV, WD=15 mm)
EBAC amplifier / Image display
Amplifier type	Current amplifier / Differential amplifier
Image display	SEM / EBAC (Single / Parallel / Overlay)
Image processing	Black and white reversal display, color display, brightness adjustment, slow scan integration, belt scan