Bơm ion Agilent VacIon tích hợp bơm thăng hoa titan (TSP)

Bơm ion Agilent VacIon tích hợp bơm thăng hoa titan để đạt được UHV. Bơm thăng hoa titan (TSP) tạo ra tốc độ bơm cực lớn cho chất khí có thể thu hồi được đồng thời bơm Ion sẽ xử lý các chất khí không thu hồi được như argon, metan. TSP có thể lắp với bơm ion hoặc dùng riêng tùy mục đích.

Cấu hình bơm kết hợp hiện có với VacIon Plus 150, 300, 500 và bao gồm CryoPanel hình trụ, một cổng phụ ConFlat 8 inch ở phía bên hoặc phía dưới và một nguồn TSP gắn vào cổng phụ cung cấp tốc độ bơm cực lớn.

Agilent cung cấp hai loại máy bơm thăng hoa bằng titan: dạng sợi và dạng cầu. Các nguồn TSP dạng sợi có thể tắt được giữa các lần thăng hoa và do đó tránh gây ra quá nhiệt. Các nguồn hình cầu chứa lượng titan lớn hơn nên kéo dài tuổi thọ trong điều kiện sử dụng nhiều titan hơn, chẳng hạn như áp suất vận hành cao hơn.