Bơm Turbo thông lượng cao Agilent Turbo-V 1K-G
Máy bơm Turbo phân tử thông lượng lớn, Turbo-V 1K-G, là hệ thống bơm chân không chuyên dụng, thiết kế đặc biệt như một máy bơm turbo cho thiết bị lắng động màng mỏng. Các giai đoạn bơm và toàn bộ cáu trúc máy bơm, được tối ưu hóa để hoạt động với lưu lượng Argon lớn dưới nhiệt độ tải khí lớn.
Turbo-V 1K-G phù hợp cho môi trường sản xuất khắc nghiệt nhờ thiết kế chắc chắn. Các ứng dụng công nghiệp phủ chân không điển hình bao gồm lắng đọng hơi nước (PVD), sản xuất tấm pin mặt trời và màn hình phẳng.
Thiết kế bơm mạnh mẽ và thiết bị điện tử hiện đại, bộ điều khiển giá đỡ hoặc bo mạch, khiến cho Turbo-V 1K-G trở thành giải pháp tối ưu cho ngành công nghiệp phủ chân không.
- Giải pháp bơm chuyên dụng được thiết kế cho thiết bị lắng đọng màng mỏng
- Tốc độ bơm lớn và thông lượng khí lớn
- Thiết kế chắc chắn và hệ thống tản nhiệt hiệu quả cao để vạn hành liên tục
- Lọc khí giúp bơm bền bỉ hơn
- Bộ điều khiển bo mạch giá đỡ Navigator
- Giao diện điện tử đa năng với phần mềm điều khiển dễ sử dụng
- Tín hiệu analog I/O và giao diện tiêu chuẩn RS232/RS485 , giao diện tùy chọn Agilent Profibus
- Ứng dụng phổ thông của bơm Turbo
En







