Hệ thống điều hướng CAD (Hệ thống điều hướng cho phân tích lỗi)

Hệ thống Điều hướng CAD phục vụ phân tích Lỗi (NASFA) được sử dụng để xác định vị trí trên dữ liệu CAD tương ứng với mô hình LSI đang được quan sát bằng hệ thống SEM hoặc FIB. Khi các tọa độ trên dữ liệu CAD được chỉ định, bàn mẫu sẽ di chuyển đến các tọa độ cụ thể đó, hiển thị hình ảnh SEM tương ứng (hoặc hình ảnh SIM đối với hệ thống FIB). Dữ liệu CAD và hình ảnh SEM có thể được chồng lên nhau, giúp dễ dàng kiểm chứng vị trí các đường dây ở lớp dưới, từ đó cải thiện đáng kể hiệu suất của công việc phân tích và sửa chữa.