Hệ thống phân tích đặc tính linh kiện nano Nano-Prober NP8000

Hệ thống phân tích đặc tính linh kiện nano Nano-Prober NP8000

Hitachi NP8000 là một hệ thống đo chuyên dụng dựa trên kính hiển vi điện tử quét (SEM), được thiết kế để đáp ứng nhu cầu phân tích cho các thế hệ công nghệ 5 nm và xa hơn nữa. Hệ thống có khả năng đánh giá các đặc tính điện tử, EBAC, EBIC, xung IV và các yêu cầu về nhiệt độ của các thiết bị quy mô nano.

  • Hệ thống quang học điện tử và súng điện tử Schottky mới: Cho phép chụp ảnh rõ nét ở thế gia tốc cực thấp (dưới 100 V).

  • Cải thiện chất lượng hình ảnh EBAC: Nhờ dòng điện đầu dò cao.

  • Tương thích với 8 đầu dò

  • Bàn mẫu kiểm soát nhiệt độ: Phục vụ việc phân tích đặc tính phụ thuộc vào nhiệt độ.

  • Camera quang học: Cung cấp cả góc nhìn từ trên xuống và góc nhìn nghiêng để hỗ trợ việc đặt đầu dò sơ bộ.

  • Bàn mẫu phụ: Cho phép mẫu di chuyển độc lập với các đầu dò.

  • Buồng khóa chân không trao đổi đầu dò

  • Chức năng chụp ảnh EBAC (Dòng điện hấp thụ chùm tia điện tử): Phân tích các điểm lỗi dòng điện.

  • Chức năng EBAC áp điện cải tiến: (DI-EBAC – “EBAC cảm ứng động”).

  • Đo xung IV: Để chẩn đoán các lỗi điện cực cổng trở kháng (tùy chọn đặt hàng riêng).

  • Giao diện đồ họa (GUI) tích hợp dùng để điều khiển vị trí đầu dò và chụp ảnh SEM. Hiển thị đồng thời (phía trên và bên hông) đảm bảo việc định vị đầu dò chính xác.

  • Hiển thị đồng thời hình ảnh SEM và EBAC. Một phương pháp giúp phát hiện lỗi nhanh hơn.

  • Các lỗi điện trở thấp trước đây thường rất khó chụp ảnh. NP8000 được trang bị súng điện tử Schottky mới và bộ khuếch đại EBAC điện áp cải tiến cho phép chụp ảnh các lỗi này một cách dễ dàng.

  • Khả năng chụp ảnh cải tiến ở thế gia tốc thấp cho phép sử dụng các mức điện áp thấp hơn, giúp giảm hư hại mẫu trong quá trình quan sát.

  • Thế gia tốc: 100 V

  • Độ phóng đại: 80,000 (Hình ảnh trực tiếp)

Liên hệ mua hàng Tư vấn kỹ thuật

Thông số kỹ thuật

Bộ đầu dò Số lượng đầu dò 8
Loại bàn mẫu Áp điện
Phạm vi dịch chuyển tinh 5 μm (X,Y)
Phạm vi dịch chuyển thô 3 mm (X), 5 mm (Y)
Bàn mẫu/ Bàn cơ sở Kích thước mẫu 15 mm x 15 mm hoặc nhỏ hơn (dày 1 mm trở xuống)
Phạm vi di chuyển Đo lường / Trao đổi mẫu / Trao đổi đầu dò
Trao đổi đầu dò / mẫu Trang bị buồng trao đổi khóa khí
Điều hướng đầu dò Di chuyển bàn mẫu đến vị trí đầu dò
Bộ nhớ vị trí đo
Điều chỉnh thô đầu dò
Điều chỉnh thô đầu dò Hiển thị hình ảnh OM Hiển thị hình ảnh từ trên xuống và từ bên hông
Quang học điện tử Súng điện tử Nguồn phát xạ điện tử Schottky
Điện áp gia tốc 0.1 kV đến 30 kV
Dịch chuyển hình ảnh ±75 μm (tại Vacc=1.0 kV, WD=5 mm)
Bộ khuếch đại EBAC / Hiển thị hình ảnh Loại bộ khuếch đại Bộ khuếch đại dòng / Bộ khuếch đại vi sai / Bộ khuếch đại DI-EBAC
Hiển thị hình ảnh SEM / EBAC (Đơn lẻ / Song song / Chồng lớp)
Xử lý hình ảnh Hiển thị đảo ngược đen trắng, hiển thị màu, điều chỉnh độ sáng, tích hợp quét chậm, quét đai

Ứng dụng

Videos