En
Đẩy mạnh việc mở rộng các tài sản số hóa và triển khai nền tảng Lumada 3.0, tập trung vào lĩnh vực bán dẫn thông qua việc ra mắt một mẫu flagship.
Kính hiển vi điện tử quét (SEM) phân giải siêu cao SU9600
Tokyo, ngày 31 tháng 10 năm 2025 — Tập đoàn Hitachi High-Tech (“Hitachi High-Tech”) đã ra mắt Kính hiển vi điện tử quét phân giải siêu cao SU9600, cho phép thực hiện khảo sát các cấu trúc vật chất với độ chính xác và độ chuẩn xác cao, đạt tới thang đo dưới nanomet*1. SU9600 duy trì khả năng phân giải cao dẫn đầu toàn cầu và tích hợp các chức năng tự động hóa cùng tối ưu hóa hiệu suất nhằm gia tăng đáng kể thông lượng thu thập dữ liệu, qua đó hỗ trợ người dùng thực hiện quan sát với độ chuẩn xác và hiệu suất tối đa. Đáp lại nhu cầu ngày càng tăng về phân tích dữ liệu quy mô lớn, được thúc đẩy bởi sự phát triển của trí tuệ nhân tạo (AI), Hitachi High-Tech cam kết hỗ trợ hoạt động nghiên cứu và phát triển các vật liệu tiên tiến và chất bán dẫn thế hệ kế tiếp.
Tập đoàn Hitachi đang tiến hành triển khai Lumada 3.0, cung cấp các dịch vụ số tích hợp dữ liệu được sinh ra từ tài sản số hóa với kiến thức chuyên môn và trí tuệ nhân tạo (AI) tiên tiến. Thông qua việc sử dụng SU9600 như một tài sản số hóa có khả năng thu thập và tạo lập dữ liệu, Hitachi High-Tech đang hiện thực hóa dịch vụ số “HMAX for Industry” — một hệ thống hiện thân của Lumada 3.0 — với mục tiêu cung cấp giá trị gia tăng vượt trội cho khách hàng. Bằng cách tập trung vào “Tự động hóa công nghiệp tích hợp”, một chiến lược nhằm mở rộng phạm vi của “HMAX for Industry” theo chiều ngang sang các lĩnh vực tăng trưởng trọng điểm, chẳng hạn như công nghiệp bán dẫn, chúng tôi sẽ đóng góp vào việc thúc đẩy đổi mới sáng tạo cho lực lượng lao động tuyến đầu.
*1 Thang đo dưới nanomet: Kích thước nhỏ hơn một nanomet (tương đương một phần triệu milimet).
Bối cảnh phát triển SU9600
Kính hiển vi điện tử quét (SEM) được sử dụng trong nhiều lĩnh vực rộng khắp, bao gồm linh kiện bán dẫn, thiết bị điện tử và vật liệu tiên tiến. Các thiết bị này đã trở thành công cụ không thể thiếu trong các ứng dụng đòi hỏi quan sát cấu trúc vi mô với độ chính xác cao, bao gồm toàn bộ chu trình từ nghiên cứu và phát triển (R&D) cho đến kiểm soát quy trình tại các cơ sở sản xuất. Đặc biệt, sự tăng trưởng mạnh mẽ gần đây của nhu cầu được dẫn dắt bởi trí tuệ nhân tạo trong thị trường bán dẫn đã thúc đẩy nhanh chu kỳ phát triển và tạo ra yêu cầu ngày càng cao đối với phân tích độ chính xác cao và thông lượng lớn sử dụng SEM. Điều này bắt nguồn từ yêu cầu phải có sự đổi mới nhanh hơn cùng với kiểm soát kích thước chính xác đối với các thiết bị có kích thước đặc trưng đã bị thu nhỏ. Do đó,kỳ vọng đang gia tăng đối với khả năng của SEM trong việc cung cấp thông tin phản hồi trong các quy trình nghiên cứu và chế tạo thông qua phân tích dữ liệu ở quy mô lớn.
Trong những hoàn cảnh này, Hitachi High-Tech đã phát triển thiết bị SU9600. Dựa trên khả năng quan sát có độ chính xác và độ ổn định cao—đặc trưng của các kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FESEM)*2 độ phân giải cao hiện có của chúng tôi, chúng tôi đã phát triển các quy trình làm việc tự động hóa việc tạo ảnh và xử lý dữ liệu để giúp tối ưu hóa quan sát bằng cách tăng thông lượng. SU9600 có thể được sử dụng cho nhiều loại quan sát theo nhu cầu của người dùng, bao gồm cả nghiên cứu cơ bản trong học thuật.
*2 Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (Field Emission SEM)
Các tính năng chính của SU9600
(1)Quan sát với độ phân giải và độ chính xác cao được hỗ trợ bởi công nghệ độc quyền của Hitachi
Thiết bị SU9600 tích hợp công nghệ súng điện tử CFE độc quyền của Hitachi. Súng điện tử CFE cho phép phát ra chùm điện tử có độ ổn định và độ sáng cao, điều này có nghĩa là việc quan sát có thể bắt đầu ngay lập tức sau khi khởi động thiết bị. Điều này cho phép thu nhận liên tục trong thời gian dài các hình ảnh sắc nét, có độ tương phản cao với tỷ lệ tín hiệu trên nhiễu (S/N)*3 tuyệt vời. Cấu trúc cột trụ được cải tiến của SU9600 đã giúp việc thu nhận hình ảnh thậm chí sáng hơn và có độ chính xác cao hơn.
*3 S/N (Tỷ lệ tín hiệu trên nhiễu): Tỷ lệ cường độ tín hiệu chia cho cường độ nhiễu. Nói chung, S/N càng cao, kết quả càng tốt.
Ngoài ra, công nghệ vật kính kiểu in-lens (in-lens objective lens) độc quyền của Hitachi giúp nâng cao độ phân giải hàng đầu thế giới của thiết bị, cho phép thực hiện quan sát độ chính xác cao trong mẫu flagship thuộc dòng sản phẩm SEM của Hitachi High-Tech.
Độ phân giải điện tử thứ cấp0.4nm (thế gia tốc 30 kV)1.0nm (thế gia tốc 1 kV)Độ phân giải STEM*⁴0.34nm (độ phóng đại 30 kV/ hình ảnh mạng tinh thể thu được bằng kính hiển vi điện tử quét truyền qua STEM)
| Độ phân giải điện tử thứ cấp | 0.4nm (thế gia tốc 30 kV) |
| 1.0nm (thế gia tốc 1 kV) | |
| Độ phân giải STEM*⁴ | 0.34nm (độ phóng đại 30 kV/ hình ảnh mạng tinh thể thu được bằng kính hiển vi điện tử quét truyền qua STEM) |
(2) Chế độ thu ảnh tùy chỉnh phù hợp với nhu cầu người dùng nhờ độ phân giải cao và thông lượng lớn
Ngoài việc cung cấp tính linh hoạt tăng cường trong cài đặt thời gian quét chùm điện tử, SU9600 còn bao gồm chức năng quét giảm tùy chỉnh*4, cho phép người dùng chỉ chọn vùng quan sát mong muốn để tạo ảnh. Thiết bị này cũng có chức năng thu ảnh độ nét cao*4, có khả năng chụp ảnh độ phân giải cao lên đến 40,000 pixel. Việc kết hợp các chức năng này cho phép thu nhận dữ liệu ảnh có độ chính xác cao một cách hiệu quả.
(3) Quan sát tự động tối ưu hóa thu nhận dữ liệu quy mô lớn
Với những tiến bộ gần đây trong công nghệ xử lý thông tin, việc phân tích được thực hiện dựa trên lượng lớn dữ liệu thu thập được bằng cách quan sát nhiều khu vực khác nhau trong các điều kiện vận hành khác nhau. SU9600 có thể được trang bị EM Flow Creator*4, một phần mềm tự động hóa giúp giảm tải công việc cho người vận hành khi thu thập lượng lớn dữ liệu. Phần mềm này cho phép người vận hành thiết lập một chuỗi các bước bằng cách kết hợp các cài đặt điều kiện như độ phóng đại, vị trí bàn mẫu, lấy nét và độ tương phản theo yêu cầu cụ thể của họ. Kết quả là, người dùng có thể thực hiện quan sát tự động liên tục, giúp giảm đáng kể khối lượng công việc của người vận hành và tối thiểu hóa các tác vụ cấu hình và điều chỉnh thủ công cần thiết trước đây.
*4 Độ phân giải STEM, chức năng quét giảm tùy chỉnh, chức năng thu ảnh độ nét cao và EM Flow Creator là các chức năng tùy chọn.