En
Kính hiển vi điện tử quét phân giải siêu cao SU8600
SU8600 mở ra một kỷ nguyên mới cho dòng sản phẩm kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường lạnh phân giải siêu cao trong danh mục EM lâu đời của Hitachi. Nền tảng CFE-SEM mang tính cách mạng này tích hợp khả năng tạo ảnh đa diện, tự động hóa, độ ổn định hệ thống tăng cường, quy trình làm việc hiệu quả cho người dùng ở mọi cấp độ kinh nghiệm, và nhiều tính năng khác.
Độ phân giải siêu cao
Nguồn phát xạ trường lạnh độ sáng cao của Hitachi cung cấp hình ảnh có độ phân giải siêu cao ngay cả ở điện áp Cực thấp.
Hình bên trên: Những hạt Zeolite loại RHO ở điện áp thấp
Hình bên dưới: Để thấy rõ cấu trúc bậc thang trên bề mặt, hình ảnh đã được chụp ở 0.8 kV điện áp tiếp xúc. Điều này cho phép cấu trúc rất mịn của các bậc thang bề mặt được nhìn thấy rõ ràng.
Chụp ảnh BSE nhanh chóng: Đầu dò BSE loại tinh thể nằm ngoài thân trụ mới (OCD)
Bằng cách sử dụng đầu dò BSE loại tinh thể nằm ngoài thân trụ mới (OCD)*, thời gian thu thập hình ảnh chưa đến MỘT GIÂY, trong khi các kết nối lớp dưới và cấu trúc Fin FET của SRAM vẫn hiển thị rõ ràng.
*Tùy chọn
Nâng tầm trải nghiệm của người dùng với khả năng tự động hóa tiên tiến
Tùy chọn phần mềm "EM Flow Creator" cho phép người dùng cấu hình các chuỗi vận hành SEM có khả năng lặp lại. Các chức năng SEM khác nhau có thể được tích hợp trong giao diện của EM Flow Creator bằng phương pháp kéo-thả và sau đó được lưu dưới dạng một công thức để sử dụng về sau. Khi một công thức đã được cấu hình, thu thập dữ liệu tự động theo các điều kiện đã thiết lập có thể được thực hiện với độ chính xác và độ lặp lại cao.
Giao diện linh hoạt
Cấu hình màn hình kép hỗ trợ một không gian làm việc linh hoạt và hiệu quả cao. Hiển thị và lưu đồng thời 6 tín hiệu để thu thập thêm thông tin trong thời gian ngắn hơn.
1, 2, 4 hoặc 6 tín hiệu, bao gồm cả phạm vi buồng chân không* hoặc Bản đồ SEM, có thể được hiển thị đồng thời trên một màn hình đơn. Bằng cách thêm màn hình thứ hai, cấu hình màn hình kép hỗ trợ tăng cường năng suất, mở rộng không gian làm việc và cho phép tùy chỉnh bảng điều khiển với các menu phụ được đặt ở bất cứ đâu trên một trong hai màn hình.
