Kính hiển vi điện tử quét phân giải siêu cao SU9600

• Khả năng quan sát độ phân giải siêu cao được kích hoạt bởi công nghệ độc quyền của Hitachi.

• Khả năng tạo ảnh thế hệ tiếp theo cho phép các quy trình làm việc quan sát đạt hiệu suất cao mà không làm giảm độ phân giải.

• Hàng loạt chức năng mới nhằm hỗ trợ tự động hóa và tinh giản vận hành thiết bị.

Nguồn Electron phát xạ trường lạnh

Nguồn electron phát xạ trường lạnh (FE) cung cấp khả năng tuyệt vời cho việc quan sát độ phân giải cao. Hitachi High-Tech đã giới thiệu nguồn electron FE lạnh thương mại đầu tiên vào năm 1972 và đã liên tục làm việc để cải tiến công nghệ này kể từ đó. SU9600 được trang bị súng electron mới nhất của Hitachi, cung cấp khả năng chiếu xạ chùm tia ổn định và độ sáng cao. Ngoài việc cho phép thu thập hình ảnh với tỷ lệ tín hiệu trên nhiễu cao ngay cả ở điện áp gia tốc thấp, SU9600 còn cho phép quan sát ổn định sử dụng chùm tia có dòng điện cao trong một thời gian dài.

ExB

Phát hiện hiệu quả các electron thứ cấp (SE), mà không làm thay đổi quỹ đạo của các electron sơ cấp, là điều có thể thực hiện được bằng cách tạo ra một trường điện và từ vuông góc lẫn nhau (trường ExB) phía trên vật kính. Công nghệ cốt lõi này giúp thu được hình ảnh có tỷ lệ S/N (tín hiệu trên nhiễu) và độ tương phản tuyệt vời, ngay cả ở cài đặt dòng thăm dò thấp, vốn thường được yêu cầu cho việc tạo ảnh độ phân giải cao.

Vật kính kiểu in-lens quang sai nhỏ

Vật kính kiểu in-lens có ưu điểm là giảm thiểu quang sai cầu và quang sai sắc một cách hiệu quả bằng cách rút ngắn tiêu cự. So với các thiết kế thấu kính thông thường, vật kính kiểu in-lens của Hitachi cho phép thu được hình ảnh có độ phân giải cao hơn. Nó cũng cung cấp khả năng quan sát ổn định các cấu trúc vi mô ở quy mô chỉ vài nanomet hoặc nhỏ hơn.

Dòng sản phẩm với đầu dò hoàn chỉnh

Mẫu SU9600 tích hợp nhiều đầu dò để thu nhận các tín hiệu electron thứ cấp, electron tán xạ ngược, và electron truyền qua. Khả năng điều khiển tín hiệu electron thứ cấp mới cho phép nhiều chế độ quan sát đa dạng có thể được tối ưu hóa cho bất kỳ loại mẫu vật nào. Đầu dò tinh thể có khả năng biến thiên (VCD) mới được phát triển, một đầu dò SE/BSE dựa trên chất phát quang, cải thiện thời gian phản hồi, giúp dễ dàng xác định chính xác các vùng quan sát cụ thể.

Tính năng quét tăng cường (Tùy chọn)

SU9600 cung cấp nhiều tính năng quét cải tiến để tối ưu hóa việc thu thập hình ảnh cho nhiều mục đích cụ thể. Điều này cho phép quy trình quan sát hiệu quả hơn—và có thể được kết hợp với EM Flow Creator để tự động hóa nhiều quy trình quét khác nhau.

• Thời gian dừng có thể được cấu hình trong một phạm vi rộng.

• Hỗ trợ tạo ảnh chỉ các vùng quan tâm cụ thể tại các vị trí/khu vực tùy ý trong trường nhìn.

• Chụp các hình ảnh chi tiết cao lên đến 40,960 x 30,720 điểm ảnh.