Kính hiển vi điện tử quét Schottky phân giải siêu cao SU8700

SU8700 mở ra một kỷ nguyên mới cho dòng sản phẩm kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường Schottky với độ phân giải siêu cao, củng cố vị thế lâu đời của Hitachi trong lĩnh vực EM. Nền tảng FE-SEM mang tính cách mạng này tích hợp khả năng tạo ảnh đa diện, dòng điện thăm dò cao, tự động hóa, quy trình làm việc hiệu quả cho người dùng ở mọi cấp độ kinh nghiệm, và nhiều tính năng khác.

Độ phân giải siêu cao và khả năng phân tích siêu nhanh

Bộ phát xạ Schottky của Hitachi cung cấp ảnh phân giải siêu cao và phân tích vi mô siêu nhanh với dòng tia thăm dò cao. Khả năng tạo ảnh ở 0.1 kV mà không cần phân cực bàn mẫu mở rộng phạm vi ứng dụng cho các mẫu vật nhạy với chùm tia. Chúng tôi luôn có sẵn các đầu dò và nhiều tùy chọn để phù hợp nhất với nhu cầu của mọi người dùng.

Nâng tầm trải nghiệm của người dùng với khả năng tự động hóa tiên tiến

Tùy chọn phần mềm "EM Flow Creator" cho phép người dùng cấu hình các chuỗi vận hành SEM có khả năng lặp lại. Các chức năng SEM khác nhau có thể được tích hợp trong giao diện của EM Flow Creator bằng phương pháp kéo-thả và sau đó được lưu dưới dạng một công thức để sử dụng về sau. Khi một công thức đã được cấu hình, thu thập dữ liệu tự động theo các điều kiện đã thiết lập có thể được thực hiện với độ chính xác và độ lặp lại cao.

  

Tính năng màn hình và giao diện mới

Cấu hình màn hình kép hỗ trợ một không gian làm việc linh hoạt và có hiệu suất cao. Hiển thị và lưu đồng thời 6 tín hiệu nhằm thu thập nhiều thông tin hơn trong thời gian ngắn hơn. Thu nhận thông tin độ phân giải cao lên tới 40,960 x 30,720 điểm ảnh.

Trường quan sát rộng + Độ phân giải điểm ảnh cao

Hình ảnh BSE lát cắt siêu mỏng của vỏ não chuột

Ảnh phía trên bên trái được thu nhận với FOV >120 μm. Vùng hình chữ nhật màu vàng trong ảnh cũng được hiển thị ở ảnh bên phải khi tăng độ phóng đại lên. Ngay cả sau khi tăng cường kỹ thuật số ảnh gốc hơn 20 lần, các cấu trúc của bào quan vẫn hiển thị rõ ràng và chất lượng cao được duy trì.

Ảnh độ phân giải cao lên đến 40,960 x 30,720 điểm ảnh có sẵn (*) trên SU8700 và SU8600.

Liên hệ mua hàng Tư vấn kỹ thuật

Thông số kỹ thuật

Hệ thống quang học điện tử Độ phân giải hình ảnh điện tử thứ cấp 0.6 nm ở 15 kV
0.8 nm ở 1 kV
0.9 nm ở 0.3 kV
Độ phóng đại 20 đến 2,000,000x
Súng điện tử Phát xạ Schottky
Thế gia tốc 0.1 đến 30 kV
Điện áp tiếp xúc (*1)(*3) 0.01 đến 7 kV
Dòng điện thăm dò Tối đa 200 nA
Đầu dò Đầu dò tiêu chuẩn Đầu dò Upper (UD)
Đầu dò Lower (LD)
Các tùy chọn đầu dò Đầu dò Middle (MD)
Đầu dò bán dẫn loại BSED (PD-BSED)
Đầu dò UVD
Đầu dò STEM
Tùy chọn phụ kiện (*2) Máy quang phổ tán xạ năng lượng tia X (EDS)
Đầu dò nhiễu xạ điện tử tán xạ ngược (EBSD)
Chế độ áp suất biến đổi (*3) Phạm vi chân không 5-300 Pa
Bàn đặt mẫu Kiểm soát bàn đặt mẫu Động cơ truyền động 5 trục
Phạm vi hoạt động
Trục X 0 đến 110 mm
Trục Y 0 đến 110 mm
Trục Z 1.5 đến 40 mm
Góc nghiêng T -5 đến 70°
Góc quay R 360°
Buồng mẫu Kích thước mẫu Tối đa 150 mm (*4)
(*1) với chế độ giảm tốc
(*2) Đầu dò gắn được vào thiết bị
(*3) Tùy chọn
(*4) vui lòng liên hệ khi kích thước mẫu lớn hơn

Ứng dụng

Videos