Kính hiển vi điện tử quét SU3800/SU3900

1. Buồng mẫu lớn hơn đáng kể chứa được các mẫu vật quá khổ và nặng

• Bàn mẫu chắc chắn đảm bảo tính linh hoạt cao đối với kích thước, hình dạng và trọng lượng của mẫu vật.

  • Trình tự thay mẫu ngăn ngừa nguy cơ hư hỏng tiềm ẩn cho hệ thống hoặc mẫu vật.

Quy trình thay mẫu vật có thể được thực hiện bằng cách tham khảo giao diện đồ họa người dùng để tránh rủi ro hư hỏng do lỗi con người, ngay cả đối với các mẫu vật có hình dạng bất thường hoặc có kích thước lớn.

• Buồng thay mẫu vật*

Thực hiện thay mẫu mà không cần xả chân không buồng mẫu chính, giúp tăng tốc độ xử lý mẫu.

• Tăng khả năng thao tác mẫu vật bằng chức năng Hủy giới hạn di chuyển bàn mẫu* SU3800/SU3900 có thể được cấu hình với chức năng Hủy giới hạn di chuyển bàn mẫu*, giúp tăng sự linh hoạt cho bàn mẫu mà không bị giới hạn. Người vận hành có thể di chuyển bàn mẫu dựa trên yêu cầu chụp ảnh của họ mà không bị hạn chế.

• Buồng quan sát nâng cao tính an toàn khi di chuyển bàn mẫu* Buồng quan sát là một thiết bị dùng để theo dõi bên trong buồng mẫu. Bằng cách sử dụng camera hồng ngoại, bên trong buồng mẫu có thể được theo dõi trên hình ảnh SEM. Việc này cũng giúp phóng đại hình ảnh buồng quan sát và quan sát vị trí mẫu vật rõ ràng hơn.

■ Tăng vùng quan sát – SEM MAP mở rộng giới hạn điều hướng mẫu

• Hiển thị camera tích hợp trong buồng mẫu SEM MAP hiện được tích hợp trong buồng mẫu, cung cấp khả năng điều hướng mẫu rộng khắp trên giao diện đồ họa người dùng. Bằng cách xác định vị trí quan sát mục tiêu trên SEM MAP, người vận hành có thể di chuyển bàn mẫu một cách liền mạch đến bất kỳ vị trí nào trong khu vực quan sát và chuyển từ chế độ xem ảnh màu trường rộng sang ảnh SEM độ phóng đại cao bằng cách phóng to/thu nhỏ tự do. Bất kỳ hình ảnh nào cũng có thể được nhập vào hệ thống để sử dụng và khai thác tính năng này.

• Điều hướng dễ dàng toàn bộ khu vực quan sát được Hình ảnh SEM MAP góc rộng được tạo ra bằng cách ghép nhiều hình ảnh. Điều hướng đến bất kỳ vị trí nào trong khu vực quan sát được (đường kính 127 mm/đường kính 200 mm, áp dụng cho SU3800/SU3900) chỉ bằng một cú nhấp chuột. Nếu cần, bàn mẫu sẽ tự động xoay trong quá trình điều hướng.

• Xoay đầu dò tự động Giao diện đồ họa người dùng giúp dễ dàng hình dung định hướng giữa mẫu vật và các đầu dò, cho phép người vận hành điều hướng liền mạch các vùng quan tâm, kết hợp cả việc xoay trong quá trình quan sát/phân tích mẫu vật có hình dạng địa hình bất thường. Việc xoay bàn mẫu và hướng quét trong khi quan sát bằng SEM MAP giúp giải quyết các thách thức, chẳng hạn như ảnh hưởng của bóng.

2. Sự phát triển của thị trường - Các chức năng tự động cải tiến cho người vận hành ở mọi cấp độ kỹ năng ■ Nhiều chế độ vận hành Tích hợp giao diện đồ họa người dùng mang lại khả năng vận hành dễ dàng và tính linh hoạt bằng các cách sau:

• Khả năng kiểm soát điều hướng bàn mẫu và điều kiện quan sát thông qua chuột.

• Sử dụng màn hình cảm ứng và/hoặc bảng điều khiển

• Màn hình window chính lớn với độ phân giải 1280 x 960 pixel.

• Hiển thị đồng thời các loại tín hiệu khác nhau.

■ Chức năng tự động cho người vận hành ở mọi cấp độ kỹ năng

• Dễ dàng điều hướng toàn bộ khu vực quan sát được (so với mẫu Hitachi Model S-3700N).

Sau khi thiết lập mẫu hoàn tất, các điều chỉnh hình ảnh khác nhau (AFS/ABCC/AFC/ASC) sẽ được tự động hóa, cho phép thu thập hình ảnh mẫu ngay lập tức sau khi bắt đầu quan sát. Các chức năng tự động: AFS = Độ bão hòa dây tóc

ABCC = Hiệu chỉnh độ sáng tương phản

AFC = Hiệu chỉnh tiêu cự

ASC = Hiệu chỉnh tán sắc

Nhờ các chức năng tự động tốc độ cao dựa trên các thuật toán thiết kế mới, thời gian thực hiện các chức năng điều chỉnh hình ảnh tự động ngắn hơn 3 lần so với mẫu trước đây. Việc thu thập dữ liệu chất lượng cao trở nên nhanh chóng hơn bao giờ hết!

• Chức năng tự động lấy nét cải tiến

Thuật toán tự động lấy nét được cải tiến giúp việc thu thập hình ảnh chất lượng cao trở nên dễ dàng hơn, đặc biệt đối với mẫu vật phẳng.

• Tính năng công nghệ dây tóc thông minh độc quyền (IFT):

  • Tự động theo dõi và điều khiển tình trạng dây tóc giúp kéo dài tuổi thọ dây tóc.

  • Theo dõi thời gian thực và hiển thị phản hồi tuổi thọ dây tóc còn lại.

Với chức năng này, người vận hành có thể sử dụng thiết bị một cách tự tin ngay cả khi quan sát liên tục trong thời gian dài, chẳng hạn như phân tích hạt.

■ Multi Zigzag cho phép quan sát vùng rộng trên nhiều khu vực*

Chức năng Zigzag cho phép thu thập tự động một trường quan sát liên tục, thiết lập chế độ zigzag tại nhiều vị trí trên bàn mẫu, cho phép thu thập nhiều hình ảnh độ phóng đại cao tại các vùng quan tâm do người dùng chọn. Các hình ảnh này có thể được ghép lại để tạo ra các ảnh micro-graph mật độ pixel cao bằng cách kết nối các hình ảnh thu được với chức năng Viewer.

* tùy chọn

 

• Report Creator tạo báo cáo từ dữ liệu thu được

Report Creator có thể xuất dữ liệu sang các mẫu tùy chỉnh của người dùng, không chỉ áp dụng cho hình ảnh SEM mà còn cho cả các hình ảnh thu được khác như dữ liệu EDS và hình ảnh camera CCD. Các báo cáo đã tạo có thể được lưu và chỉnh sửa ở bất kỳ định dạng nào của Microsoft® Office.

3. Giải pháp tích hợp cho nhiều ứng dụng

■ Nhiều loại phụ kiện có thể gắn vào bất kỳ cổng nào trong số 20 cổng trên buồng mẫu SU3900 tiên tiến

SU3900 được trang bị buồng mẫu lớn đa năng để quan sát các mẫu vật có kích thước lớn.

■ Hệ thống tích hợp SEM/EDS*

Hệ thống tích hợp SEM/EDS mới được phát triển hợp nhất việc định vị trí mẫu, thiết lập điều kiện đo, phân tích, lập báo cáo, và một loạt các thao tác khác thông qua giao diện người dùng đồ họa (GUI) của SEM trên các mẫu SU3800/SU3900. Việc kiểm soát mọi thứ từ giao diện người dùng đồ họa của SEM giúp cải thiện thông lượng và giảm bớt các tác vụ của người vận hành.

*Tùy chọn

■ Đầu dò độ nhạy cao hỗ trợ mọi yêu cầu quan sát

• Quan sát CL sử dụng UVD*

Các mẫu SU3800/SU3900 có đầu dò UVD độ nhạy cao. UVD có thể thu thập hình ảnh và thông tin CL cùng với thông tin electron thứ cấp bằng cách phát hiện ánh sáng được tạo ra từ sự va chạm của các electron thứ cấp và các phân tử khí dư được gia tốc bởi một điện cực phân cực.

• Đầu dò BSED hình khuyên cho phép trực quan hóa thành phần và địa hình

Với thiết kế 5 phân đoạn, có thể quan sát hình ảnh thành phần, hình ảnh 3D và hình ảnh địa hình từ 4 hướng mà không cần xoay mẫu. Nhờ thiết kế và độ nhạy cao của đầu dò, khả năng tạo ảnh độ phân giải cao với khả năng giữ lại tỷ lệ Tín hiệu/Nhiễu (S/N) được cải thiện là khả thi.

■ Giá đỡ STEM (Tùy chọn)

• Dễ dàng thu được hình ảnh truyền qua trên các mẫu mỏng

Giá đỡ STEM mới được phát triển có thể được sử dụng để thực hiện chụp ảnh truyền qua với bộ dò UVD của Hitachi. Có thể thu được hình ảnh của các mẫu mỏng hoặc mẫu sinh học.

• Đầu dò BSED hình khuyên cho phép trực quan hóa thành phần và địa hình

Với thiết kế 5 phân đoạn, có thể quan sát hình ảnh thành phần, hình ảnh 3D và hình ảnh địa hình từ 4 hướng mà không cần xoay mẫu. Nhờ thiết kế và độ nhạy cao của đầu dò, khả năng tạo ảnh độ phân giải cao với khả năng giữ lại tỷ lệ Tín hiệu/Nhiễu (S/N) được cải thiện là khả thi.

■ Giá đỡ STEM (Tùy chọn)

• Dễ dàng thu được hình ảnh truyền qua trên các mẫu mỏng

Giá đỡ STEM mới được phát triển có thể được sử dụng để thực hiện chụp ảnh truyền qua với bộ dò UVD của Hitachi. Có thể thu được hình ảnh của các mẫu mỏng hoặc mẫu sinh học.