Kính hiển vi điện tử truyền qua phát xạ trường HF5000
TEM/STEM 200 kV độc đáo của Hitachi với hiệu chỉnh quang sai: sự kết hợp hoàn hảo giữa độ phân giải hình ảnh và hiệu suất phân tích.
Độ phân giải không gian 0,078 nm trong STEM đạt được cùng với khả năng nghiêng mẫu vật lớn và đầu dò EDX góc thu lớn, tất cả trong một cấu hình vật kính đơn.
HF5000 được xây dựng dựa trên các tính năng của STEM chuyên dụng Hitachi HD-2700, bao gồm bộ hiệu chỉnh quang sai hoàn toàn tự động của riêng Hitachi, EDX SDD kép đối xứng và hình ảnh Điện tử thứ cấp (SE) đã được hiệu chỉnh Cs (quang sai cầu). Thiết bị cũng tích hợp các công nghệ TEM/STEM tiên tiến được phát triển trong dòng HF.
Việc tích hợp các công nghệ này vào một nền tảng TEM/STEM 200 kV mới mang lại một thiết bị với sự kết hợp tối ưu giữa hình ảnh và phân tích dưới cấp độ Ångström, cùng với sự linh hoạt và khả năng độc đáo để đáp ứng các nghiên cứu tối tân nhất.
Bộ hiệu chỉnh quang sai cầu tạo chùm tia hoàn toàn tự động của Hitachi.
Súng điện tử FEG lạnh (Cold FEG) độ sáng và độ ổn định cao.
Cột siêu ổn định và bộ nguồn cấp để tăng cường hiệu suất thiết bị.
Khả năng chụp ảnh STEM & SEM đồng thời đã được hiệu chỉnh quang sai cầu với độ phân giải nguyên tử. Bàn thao tác mẫu cửa bên và bộ giữ mẫu mới có độ ổn định cao.
Hai đầu dò EDX đối xứng 100 mm² đối diện nhau: "SDD kép đối xứng*".
Vỏ bọc được thiết kế mới để tối ưu hóa hiệu suất trong môi trường phòng thí nghiệm thực tế.
Một loạt các bộ giữ mẫu tiên tiến của Hitachi. *Tùy chọn
FEG lạnh độ sáng cao x Độ ổn định cao x Bộ hiệu chỉnh quang sai tự động của Hitachi
FEG lạnh (Cold FEG) độ ổn định cao mới là một phiên bản được thiết kế lại hoàn toàn của công nghệ nguồn điện tử phát xạ trường lạnh đã có từ lâu của Hitachi. Toàn bộ hệ thống đã được tối ưu hóa để đạt được khả năng chụp ảnh dưới Å. Cột, bộ nguồn cấp và bàn đặt mẫu đều được thiết kế mới để mang lại sự ổn định cơ học và điện tử tốt nhất. Kết hợp những khả năng này với bộ hiệu chỉnh Cs tạo chùm tia độc đáo, hoàn toàn tự động của Hitachi, chỉ cần một cú nhấp chuột, đảm bảo tất cả người dùng có thể đạt được hiệu suất tốt nhất một cách nhanh chóng và dễ dàng.

Hai đầu dò EDX 100 mm² đối diện đối xứng: "SDD kép đối xứng"*
Phân tích EDX có độ nhạy cao, thông lượng cao đạt được nhờ hai đầu dò SDD 100 mm² đối diện đối xứng.
Cấu hình SDD kép đối xứng giúp tốc độ đếm gần như không đổi khi nghiêng mẫu. Đối với các mẫu vật kết tinh, việc thu thập dữ liệu EDX có thể được thực hiện đơn giản chỉ với việc căn chỉnh trục vùng, so với cấu hình đầu dò đơn. Góc khối lớn cũng có nghĩa là việc lập bản đồ EDX có thể được thực hiện ngay cả trên các mẫu nhạy với chùm tia và/hoặc có độ phát tia X thấp, bao gồm cả lập bản đồ cột nguyên tử. EDX độ phân giải điểm ảnh cao với trường nhìn rộng cũng có thể đạt được, cung cấp các bộ dữ liệu độ phân giải cao, dung lượng lớn.

Chụp ảnh SEM & STEM đồng thời đã hiệu chỉnh Cs
Chụp ảnh SEM & STEM đồng thời được cung cấp theo tiêu chuẩn, với đầu dò SE loại ET.
Điều này cho phép tương quan thông tin bề mặt và thông tin bên trong với những hiểu biết sâu sắc về cấu trúc 3D của mẫu vật, mà không cần thực hiện phép chụp cắt lớp 3D.
Ngoài ra, ảnh SEM đã hiệu chỉnh Cs cung cấp độ phân giải không gian cao hơn với thông tin bề mặt trung thực hơn.
Ảnh SEM/ADF-/BF-STEM xúc tác Au/CeO₂ (trên), và các ảnh hạt Au độ phân giải cao tương ứng (dưới).
En

